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高纯度气体系列阀门

高纯度气体系列阀门

可浏览本公司具有高可靠性及高耐久性的高纯度气体系列阀门产品一览。

高纯度气体系列接头

高纯度气体系列接头

可浏览机械接头方式的CVC、以焊接方式为主的SCM和SCF接头。

真空阀

真空阀

可浏览真空阀（波纹管阀、蝶阀、球阀、方型闸阀等）。

WET（湿式）系列阀门

WET（湿式）系列阀门

可浏览湿式系统用PFA制隔膜阀。

WET（湿式）系列接头

WET（湿式）系列接头

满足洁净、无泄漏、轻量、小型等高要求的PFA制熔接接头。

湿式系统

湿式系统

KITZ SCT可根据客户要求制造各种装置。

SCV浸没阀®　KD-S系列

SCV浸没阀®　KD-S系列

适用于原子层沉积(ALD)工艺的阀门。

SCV浸没阀®　TD-S系列

SCV浸没阀®　TD-S系列

可在高温环境下使用的集成气体系统用阀门。

高压隔膜阀　NRD系列

高压隔膜阀　NRD系列

耐高压、大流量范围的阀门。

高速高耐久阀门

高速高耐久阀门

兼备高速开关、高耐久、耐热性、Cv值稳定性的阀门。

高速高耐久阀门　TDF4

高速高耐久阀门　TDF4

适用于原子层沉积(ALD)工艺。兼备高速开关、高耐久、Cv值稳定性的阀门。

CVC接头　锁定附件®

CVC接头　锁定附件®

防止因振动造成松动的安全器具。

阀座可替换阀门

阀座可替换阀门

可简单更换阀座和隔膜部的阀门。

带减压功能的隔膜阀

带减压功能的隔膜阀

附带安全功能的阀门。

ZD_E

ZD-K 250℃ High-temperature Replaceable Diaphragm valves

This can be used in high-temperature environments and the seats of which are detachable and replaceable.

XD_E

XD Diaphragm valves

This is for high-purity gas processes. Available for use in a wide range of fields, including semiconductors.

NDD_E

NDD Diaphragm valves 2.0MPa

This is a 2.0 MPa specification diaphragm valve. This high-quality diaphragm valve supports high-purity liquid materials for semiconductors.